Une pompe à vide est un appareil capable d'extraire du gaz d'un récipient scellé pour créer et maintenir un vide. Il est largement utilisé dans la recherche scientifique et dans les domaines industriels pour fournir divers environnements sous vide.
Les principes de fonctionnement des pompes à vide varient, incluant principalement les types suivants :
1.Pompe à vide volumétrique : Le volume de la chambre de la pompe change périodiquement pour terminer le processus d'aspiration et d'échappement. Ce type de pompe est divisé en deux types : à palettes alternatives et rotatives. Les pompes à vide alternatives utilisent le mouvement alternatif du piston pour inhaler, comprimer et évacuer les gaz ; Les pompes à vide à palettes rotatives utilisent le rotor rotatif pour inhaler et comprimer le gaz.
2.Pompe à vide sèche : n'utilise pas d'huile ou d'autres liquides comme support d'étanchéité, adaptée aux environnements qui nécessitent un vide propre sans huile, tels que les processus de gravure de semi-conducteurs, etc.
3. Pompe à vide à anneau liquide :Lorsque le rotor tourne, il projette du liquide (tel que de l'eau ou de l'huile) dans le corps de la pompe pour former des anneaux concentriques de liquide, qui forment plusieurs petits volumes qui changent périodiquement avec les pales du rotor pour obtenir une aspiration et une compression.
4.Pompe à vide Roots : Elle est équipée de deux rotors qui tournent de manière synchrone dans des directions opposées. Un certain espace est maintenu entre les rotors et entre les rotors et la paroi interne du corps de pompe. Il s'agit d'une pompe à vide rotative à cylindrée variable.
5.Pompe de transfert d'impulsion : S'appuyant sur des pales rotatives à grande vitesse ou des jets à grande vitesse pour transférer l'impulsion aux molécules de gaz, permettant ainsi une transmission continue du gaz de l'entrée de la pompe à la sortie. La pompe à vide moléculaire est un exemple de ce type de pompe.
6.Pompe à vide à jet : utilise l'élan généré par un jet à grande vitesse pour transporter le gaz vers la sortie. Il peut s'agir d'une pompe à vide à jet de liquide, à jet de gaz ou à jet de vapeur.
Les pompes à vide fournissent l’environnement de vide nécessaire, permettant le déroulement fluide de nombreux processus industriels et expériences scientifiques. Ils font partie des équipements indispensables dans l’industrie moderne et la recherche scientifique.