L’air comprimé sec (CDA) constitue une source d’énergie fondamentale utilisée dans la fabrication des plaquettes, la photolithographie et la gravure, le conditionnement et les tests, ainsi que le traitement des PCB, tout au long de la chaîne industrielle de l’électronique et des semi-conducteurs. En tant qu’équipement central d’alimentation en air, les compresseurs d’air influencent directement le rendement des puces et la stabilité des lignes de production. L’industrie exige des compresseurs sans huile conformes aux normes ISO 8573-1 Classe 0.

Lors de la préparation des plaquettes, les compresseurs sans huile fournissent un flux d’air ultra-propre pour éliminer les poussières submicroniques après la découpe des lingots de silicium et le polissage des plaquettes. Même de légères traces de brouillard d’huile peuvent former un film isolant sur les plaquettes de silicium et provoquer des défaillances ultérieures des circuits ; la teneur totale en huile de l’air fourni doit donc être maintenue en dessous de 0,01 mg/m³. La photolithographie, la gravure et le dépôt de couches minces constituent des procédés de fabrication essentiels. Les compresseurs d’air alimentent les vérins de précision et les vannes pneumatiques des chambres des machines de lithographie. Une pression d’air stable garantit un positionnement des supports de plaquettes au niveau nanométrique, avec des fluctuations de pression limitées à ±0,05 bar afin d’éviter le décalage des motifs de circuits. Parallèlement, l’air comprimé à faible point de rosée (≤ -40℃) protège les lentilles optiques et évite l’atténuation de l’énergie laser causée par l’humidité condensée.

Dans les ateliers de conditionnement et de tests, les compresseurs d’air alimentent les machines de fixation de puces, les machines de soudage par fils et les équipements de tri automatique. L’air de haute pureté élimine les impuretés présentes sur les pastilles de connexion afin d’éviter les soudures froides et les courts-circuits. Lors des tests de vieillissement des puces, un flux d’air propre et uniforme garantit des données de test électrique précises. Pour le traitement des PCB et SMT, l’air comprimé prend en charge l’aspiration des machines de placement, le nettoyage des cartes de circuits et la purge des fours de refusion ; l’air sans huile empêche l’oxydation et la contamination des composants électroniques.

Les lignes de production de semi-conducteurs fonctionnent 24 h/24 et 7 j/7. Les compresseurs d’air à vis et centrifuges sans huile fournissent un débit d’air stabilisé à faibles vibrations et à fréquence variable. Équipés de filtres de précision à plusieurs étages et d’unités de séchage en profondeur, ils contrôlent trois contaminants majeurs : l’huile, l’eau et les particules. Contrairement aux compresseurs d’air industriels classiques, les modèles spécialisés pour les semi-conducteurs éliminent la pollution par lubrifiant à la source et réduisent considérablement les risques de mise au rebut des plaquettes. En tant qu’équipements auxiliaires de précision indispensables pour les usines de fabrication avancée, ils établissent une base solide d’alimentation en air pour une production de masse stable des puces et l’amélioration de la qualité.